精品人伦一区二区三区蜜桃牛牛,羞羞视频,国内精品久久久久影院一蜜桃,小受初次疼哭视频gvtaiki

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章其實,你并不了解小型濺射儀

其實,你并不了解小型濺射儀

更新時間:2022-04-26點擊次數(shù):1465
  小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用,產(chǎn)生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運(yùn)動軌跡近似一條擺線。
 
  若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動,它們的運(yùn)動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
 
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
 
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應(yīng)氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
 
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機(jī)械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
 
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進(jìn)行冷卻,以防止部件損壞。
 
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調(diào)運(yùn)轉(zhuǎn)完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。
18禁止进入1000部高潮网站| 亚洲自偷自偷偷色无码中文| 啦啦啦中文免费观看在线| 丰满少妇被猛烈高清播放| 破處女特級a片在线观看| 男生把手放进我内裤揉摸好爽 | 成人电影免费看| 女主播的YIN荡日子NP| 丰满少妇在线观看网站| 色欲国产麻豆一精品一av一免费| 亚洲成AV人片无码BT种子下载| 一区二区亚洲AV天堂嫩模| 色五月丁香五月综合五月4438| 午夜a片免费| s货叫大声点c懒烂你的sbxs| 一色一伦一区二区三区| 双天至尊第一部| 福利cosplayh裸体の福利| 色戒2小时38分无删减版| 黑人猛挺进小莹的体内视频| 大杳蕉狼人欧美篇75| 欧美亚洲色综久久精品国产| 小sao货水好多真紧| 高H各种姿势调教1V1| 99国内精品久久久久久久| 国产成人亚洲精品无码A大片| 1吨柴油等于多少升| 他底下好硬蹭着我想要| 玩弄白嫩少妇xxxxx性| 亚洲精品乱码久久久久久| 一夜强开二女处苞| 人人妻人人爽人人澡欧美一区| 天天摸日日摸狠狠添高潮喷| 嘟嘟嘟WWW免费高清在线直播| 国产精品爽黄69天堂a| 成人午夜又粗又硬又长| 女人被男人躁得好爽免费视频| 亚洲精品无码久久久久苍井空| 全是肉的高h短篇bl| 欧美狂野另类xxxxoooo| 奇米777四色影视在线看|